[제우스] ■내일장 공략주-삼성.SK에 HBM장비 본격 공급시작-일본 자회사주가 대폭등중!

□삼성·SK HBM3E 수율 경쟁에 新장비 개발 '후끈'

2024.4.8

삼성전자·SK하이닉스·마이크론 등 주요 메모리 기업들의 HBM3E(5세대 고대역폭메모리) 수율 확보 경쟁이 치열해지

고 있다. 이에 따라 국내 반도체 후공정 장비 기업들도 연내 상용화를 목표로 신규 장비 개발에 나섰다.

업계에 따르면 국내 반도체 테스트 장비업체들은 최선단 HBM용 테스터 개발에 주력하고 있다

HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층해, 데이터 처리 성능을 끌어올린 고부가 메모리다. 올해에는 5세대 제품인

HBM3E가 본격적인 상용화 궤도에 올랐다.

현재 상용화된 가장 최신 HBM 제품인 HBM3(4세대 HBM)의 경우 SK하이닉스가 사실상 시장을 독과점해 왔다. 그러

나 HBM3E부터는 삼성전자와 마이크론도 앞다퉈 상용화를 준비하고 있어, 제품 신뢰성 및 수율이 매우 중요해질 전

망이다.

반도체 업계 관계자는 "그간 HBM 시장에서 테스트는 후순위에 해당했으나, HBM3E부터 메모리 3사의 경쟁 과열로

수요가 증가하는 추세"라며 "기존 후공정 장비 기술을 기반으로 하기 때문에 국내 기업들도 개발 성과에 따라 수혜를

볼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

★★★제우스

HBM전용 후공정 장비 개발 완료 

온디바이스AI, HBM,CXL등 최첨단 반도체시장 대호황기로  신장비 시장 본격공략

엄청난 규모로 성장하는 HBM시장, HBM 장비기업들 엄청난 호재로 작용할것

HBM 차세대 장비로 SK하이닉스,삼성에 이어 마이크론까지 공략한다

반도체이어 로봇시장 본격확대중,삼성에 반송로봇 공급계약체결

모바일 매니퓰레이터 차세대로봇 개발 완료 상반기중 공개

반도체 장비이어 반도체 로봇까지 접수한다

*왕중에 왕--제우스 핵심 투자 포인트~!

-반도체 전 제조공정중 세정공정이 30%비중

-세정공정 장비공급 국내점유율(40%) 1위 기업

-싱글형타입,배치형타입 등을 모두 제조할수 있는 국내유일기업

-최근에는 HBM전용장비 개발을 완료, 삼성-SK하이닉스에 본격출하 시작

-신성장동력인 로봇사업이 순항중이며 차세대 로봇도 개발을 완료 공개임박

-삼성전자,SK하이닉스등 반도체 대장들이 모두 주고객사

-삼성 디스플레이에 로봇 공급계약 체결

-미국 반도체 장비기업과 파트너십 계약 체결로 미국시장 공략 본격화

-일본 지분 95% 자회사 '제이이티' 도쿄 증권거래소에 상장완료--주가 연일 대폭등중

***이베스트 투자증권 REPORT 

-현주가 과도한 저평가 국면, 목표주가 28,000원

-올해 매출액은 전년 대비 44% 늘어난 5804억원, 영업이익은 839% 늘어난 641억원

□제우스, 삼성-SK 'HBM'경쟁 최대수혜 누린다

삼성.SK  HBM공정에 장비공급 시작

반도체와 디스플레이 제조장비를 만드는 제우스가 인공지능(AI)용 메모리반도체로 주목받는 고대역폭메모리(HBM)

장비로 성장을 모색한다. 부가가치가 높고 삼성전자, SK하이닉스 등 대형 고객사의 투자가 HBM 증설에 쏠리는 상황

에서 잡은 기회다. 회사는 HBM과 어드밴스드패키징(AVP)을 포함한 후공정 분야 진출을 기반으로 최고 실적을 달성

한 2022년에 이어 올해 큰 폭의 실적 개선을 기대하고 있다

<28,000m2의 거대 부지에 건설된 제우스 화성 신사옥>

제우스는 반도체와 디스플레이, 공장 자동화용 로봇 등을 주력 사업으로 하는 기업이다. 매출 비중이 가장 높은 사업

분야는 반도체 장비다. 제우스는 주로 습식 세정 장비에서 탄탄한 제품군과 다양한 고객사를 확보했다

습식 세정이란 다양한 반도체 공정 중 발생하는 오염원을 제거하는 과정을 말한다. 각 공정을 거친 뒤 반도체원판(웨이

퍼)에 남은 불순물을 제대로 없애야 다음 공정에서 불량이 발생할 가능성을 낮출 수 있다. 잔여 물질을 제거하는 방법

에 따라 물리적 방식, 화학적 방식 등으로 구분되는데, 액체류 화학물질로 불순물을 없애는 공정을 습식 세정이라고 부

른다

세정 공정은 반도체의 회로를 형성하는 전공정 과정 중 상대적으로 비중이 떨어진다고 평가받았다. 하지만 반도체 기

술이 점차 미세화되고, 공정이 복잡해질수록 세정 공정이 갖는 중요성도 덩달아 높아지고 있다. 회로가 미세하면 불순

물이 일으키는 오류가 더 치명적이기 때문이다. 반도체를 패키징(포장)하고 테스트(검사)하는 후공정에서도 세정 공정

의 기술적 고도화가 진행되고 있다

제우스가 납품하는 세정 장비는 크게 배치(Batch)형과 매입형으로 구분된다. 배치형은 한 번에 웨이퍼 여러 장을 장비

에 투입해 효율성을 높인 장비다. 반대로 매입형은 웨이퍼를 한 장씩 세정하며 처리 속도는 느리지만, 세정의 정밀도가

높아 첨단 반도체에 적합하다. 국내에서 삼성전자와 SK하이닉스의 첨단 D램과 낸드플래시 생산에는 매입형 장비가,
중국의 레거시(구형) 반도체 파운드리(수탁생산) 업체들에는 배치형 장비가 주로 공급된다

2024년부터는 삼성전자와 SK하이닉스의 HBM 증설 투자가 공격적으로 이뤄지고 있다. HBM은 D램을 8단 이상으로

수직으로 쌓아 정보가 오가는 길에 해당하는 대역폭을 넓힌 고성능 메모리반도체다. D램 칩을 위아래로 올리기 위해

서는 각 칩 사이를 접착하고, 수직으로 관통하는 구멍으로 연결하는 특수 공정인 실리콘관통전극(TSV)을 거친다.

삼성전자는 올해 국내 HBM을 2배 이상 높이기로 하고 충남 천안 후공정 공장의 증설을 추진 중이다. SK하이닉스 역

시 올해 설비투자 대부분을 선단 공정 전환과 함께 HBM 생산을 위한 후공정 강화에 쏟겠다는 계획을 밝힌 바 있다

제우스는 TSV 공정에 대응할 수 있는 새로운 세정 장비의 공급을 본격화했다. HBM은 메모리반도체 제조사가 확보한

최첨단 공정을 활용해 D램을 제작한 다음, 후공정에서 최대 12단까지 쌓는 복잡한 과정을 거치는 만큼 세정 공정이 갖

는 중요도가 어느 때보다 높다. 제우스가 삼성전자와 SK하이닉스의 HBM용 세정 공정에 공급하는 제품은 부가가치가

높은 매입식 장비다.

TSV 공정 중 웨이퍼의 후면을 얇게 갈아내는 백그라인딩을 위해 웨이퍼 전면에 붙이는 캐리어 웨이퍼를 탈착한 뒤 남

은 불순물을 세정하는 역할을 한다. 도쿄일렉트론(TEL) 등 세계 세정장비시장에서 굵직한 장비 업체들을 제치고 삼성

전자와 SK하이닉스의 수주 대부분을 제우스가 담당하는 것으로 알려졌다

제우스의 2023년 연결기준 영업 실적은 좋지 못했다. 매출은 4029억원, 영업이익은 69억원으로 각각 전년 대비

20.9%, 85.1% 감소했다. 회사 측은 "디스플레이 주요 고객사의 설비투자 감소로 매출이 감소했다"고 설명했다

2024년은 다를 것이란 기대감이 높다. 반도체 호황과 더불어 신사업인 로봇 사업의 성장세로 역대 최대 연 매출인

5033억원을 기록한 2022년의 기록을 다시 넘을 것이란 전망도 나온다. 이베스트투자증권이 추산한 2024년 제우스

의 연간 실적은 매출 6025억원이다. 삼성전자와 SK하이닉스의 HBM 제조 공정에 새롭게 공급을 시작한 세정 장비 매

출은 1000억원을 돌파할 것으로 예상된다

□ 반도체·디스플레이 제조장비·로봇 전문기업 제우스, 미국 반도체 시장 공략 본격화

    미국 전력반도체 기업, 메모리 및 파운드리 반도체 기업 등 YES 고객군에 장비 공급가능

    올 상반기엔 차세대 로봇 '모바일 매니퓰레이터' 개발을 완료, 시제품을 공개예정

    삼성디스플레이에 약300억원대의 디스플레이제조공정용 '반송로봇' 공급계약을 체결

    HBM전용 세정장비도 개발을 완료하고 올해 본격 출하 예정, 올 반도체장비 매출 46%증가예상

    올해 온디바이스AI, HBM,CXL등 최첨단 반도체시장 대호황기로  신장비 매출 견인할것

    반도체 배치형 장비를 생산하는 일본 자회사 '제이이티' 작년9월 도쿄증권거래소에 상장완료

    연매출 5000억원대, 자본유보율이 5800%에 이르는 최우량 코스닥 상장기업

    이종우 제우스대표"로봇과 반도체를 앞세워 5년내 연매출 1조원을 달성하겠다"

반도체·디스플레이 제조장비·로봇 전문기업 제우스가 미국 반도체 시장 공략을 본격화한다. 제우스는 미국 반도체 장

비 공급업체 YES와 전략적 파트너십 계약을 체결했다고 최근 밝혔다.

미국 캘리포니아주 프리몬트에 있는 YES는 반도체 첨단 패키징, 생명과학 및 ‘모어댄무어’ 공정 장비 분야 선도업체로

꼽힌다. 모어댄무어는 후공정 패키징 공정 혁신을 통해 반도체 성능을 높이는 개념이다.

이번 파트너십은 제우스의 반도체 세정 장비 및 열처리 장비 기술을 YES 판매망을 통해 미국 시장에 공급하는 게 핵심

이다. 제우스는 미국 전력반도체 기업, 메모리 및 파운드리 반도체 기업 등 YES 고객군에 장비를 공급할 수 있게 됐다.
영업 및 서비스 현지화를 통해 미국 내 반도체 장비 시장 영향력을 확대한다는 계획이다

이종우 제우스 대표는 “최첨단 메모리 반도체 시장이 호황을 맞을 것이라는 기대에 따라 첨단패키징(AVP)에 필수인

고대역폭메모리(HBM), 서로 다른 반도체를 수평으로 배열하는 2.5차원(2.5D) 패키징, 웨이퍼레벨패키지(WLP) 등

공정 검증 및 장비를 국산화하고 국내 점유율을 확대하고 있다”며 “중국 반도체 시장이 자국 정부의 전폭적인 지원을

받고 있어 중국 시장에 거는 기대도 크다”고 말했다

자회사 상장으로 현금을 확보한 것도 긍정적이다. 자회사 제이이티는 지난 9월 일본 도쿄프로마켓에서 도쿄증권거래

소로 이전 상장했다. 이때 구주 일부를 매각해 현금 537억원을 확보했다

한편 신성장 동력으로 진행하고 있는 신사업 로봇사업이 순항중인 가운데 제우스는 연말에 차세대 로봇 '모바일 매니

퓰레이터' 개발을 완료하고 올 상반기 시제품을 공개할 예정이라고 밝혔다.

제우스 관계자는 지난달 28일 "(AMR 로봇) 개발 완료로 올해초  시제품이 나올 예정이다. 현재 다양한 고객사와 컨

택하며 논의 중이다"며 "경쟁사 대비 최대 무게를 들 수 있는 로봇으로 전력이 적고 고객 맞춤제작이 쉽게 가능하다. 다

양한 이점을 지니고 있는 산업로봇으로 올해 로봇 사업이 많이 성장할 것을 기대하고 있다"고 말했다.

제우스는 지난 9월 삼성디스플레이와 290억원에 이르는 디스플레이 제조공정용 반송로봇 공급계약을 체결, 수주에

성공했으며 제우스가 직접 생산한 로봇이 본격적으로 납품과 매출발생이  시작되었다.

<제우스 로봇군>

개발이 완료된 '모바일 매니퓰레이터'은 자율이동로봇(AMR)과 무인운반차량(AGV)에 로봇팔을 결합한 제품으로 업

계 최대인 30㎏의 제품을 적재 할 수 있는 로봇이다. 전기차·2차전지 등 다양한 시장에서도 활용할 수 있는 로봇을 확

장할 계획이다.

제우스는 과거 일본의 로봇업체 산쿄(Sankyo)와 국내 로봇 유통 사업을 영위하면서 로봇사업과 인연을 맺어왔다. 지

난 2019년 라이선스를 확보 후 산업용 6축 다관절 로봇인 '제로'를 상용화하면서 산업용 로봇 제조 사업에 진출했다.

최근에는 다양한 폼팩터를 갖춘 로봇을 잇달아 개발하며 고객사를 확보하고 있다.

산업용 로봇 제조 사업에 뛰어든 제우스의 주력 사업은 반도체용 세정장비다. 현재도 반도체 사업이 매출비중의 74%

를 차지하며 실적을 이끌고 있다. 제우스는 반도체 및 디스플레이 장비 매출을 통한 안정적인 현금흐름을 바탕으로 산

업용 로봇 분야의 신사업도 적극 추진할 수 있었다.

제우스는 로봇 연구개발(R&D)비용, HBM용 세정장비 개발 등의 투자로 23년은  22년 대비 아쉬운 실적이 예상되지

만, 올해부터 관련 장비 매출이 가시화되면서 성장을 기대하고 있다. HBM 공정에 들어가는 세정장비 개발도 완료돼

 올해 실적을 이끌 것으로 전망된다.

이의진 흥국증권 연구원은 "제우스는고대역폭메모리(HBM) 장비 등의 고객사 후공정 투자 증가로 올해 반도체 장비

매출액이 46% 증가할 것으로 예상된다"며 "국내 고객사 HBM 등 후공정 진입 속도가 올해를 기점으로 빨라지고 있

기에 배치타입 장비는 중국의 레거시(과거로부터 물려 내려온 기술이나 시스템) 공정 투자와 맞물려 빠른 매출 성장을

달성할 것으로 예상된다"고 전했다.

제우스는 최근 미국 반도체 시장에도 진출했다. 지난달 11일 미국 반도체 첨단장비 공급업체 예스(YES)와 전략적 파

트너십 계약을 체결했다. 제우스는 반도체 세정 장비 및 열처리 장비 기술을 YES사의 판매망을 통해 미국 시장에 공급

하면서 시장을 넓혀나갈 계획이다.

제우스 관계자는 "반도체는 올해 더 나아질 것으로 보고 있다. 중국 쪽으로는 레거시 라인 쪽으로 많이 나가고 있으며,

예스와 추진할 다양한 사업도 기대하고 있다. 국내에서는 주력 사업이 반도체 부문과 특히 AMR 로봇 사업 관련해 집

중하고 있다"고 말했다

□반도체 장비이어 반도체 로봇까지 접수--글로벌 반도체사에 자체개발 공정로봇 첫 공급

로봇사업 확장하는 제우스, 자체 개발 반도체 공정 로봇 공급 성사

복수의 대형 반도체 제조 업체에 납품완료,다관절 로봇에 매니퓰레이터가 부착된 모델

반도체 공정에 제우스 자체 개발한 로봇 진입은 처음

제우스가 글로벌 반도체 제조사에 공정 로봇을 공급했다. 반도체·디스플레이 장비에 이어 신성장동력으로 육성 중인

로봇 사업이 성장궤도에 오를지 주목된다.

업계에 따르면 제우스는 반도체 공정용 로봇을 복수의 대형 반도체 제조 업체에 납품했다. 다관절 로봇에 매니퓰레이

터(로봇 팔)가 부착된 모델로, 지난해 말 개발 완료 후 공급까지 성사시켰다

반도체 공정에 제우스 로봇이 진입한 건 처음이다. 자율주행 부문과 감속기를 제외한 전 부품을 제우스 자체 기술로 개

발했다

제우스는 지난 1970년 설립된 반도체·디스플레이 장비사다. 반도체 세정 장비와 열처리 설비, 물류 장비 등 반도체와

디스플레이 제조에 필요한 설비를 공급하고 있다.

회사는 1995년 일본에서 액정표시장치(LCD) 반송용 로봇을 반입, 로봇 시장에 진출했다. 이후 2019년 제우스 자체

기술로 다관절 로봇 '제로(ZERO)'를 개발하고, 로봇 사업을 신성장동력으로 육성 중이다.

기존 다관절 로봇은 외식업(F&B)과 화장품 산업 등에서 활용됐는데, 이번에는 반도체 공정용까지 응용처를 확장했다

이종우 제우스 대표는 “반도체 공정용 로봇을 활용하면 자동화를 구현해 인건비를 절감하고 산업재해도 방지할 수 있

는 만큼 반도체 기업의 관심이 높아지고 있다”며 “부가가치도 높아 반도체 공정 분야에 집중할 예정”이라고 말했다

제우스 반도체 공정 로봇은 최대 30킬로그램(㎏) 가반하중(로봇이 들어올릴 수 있는 최대 무게)을 갖췄고, 무게는

17㎏다.

동급 제품(가반하중 25㎏, 무게 75㎏)보다 무게가 4분의 1 수준으로 가벼우면서도 5㎏ 더 무거운 물체를 들 수 있다

이 대표는 “많은 장비가 투입되는 반도체 공장에서 로봇을 활용하려면 크기를 최소화해야 하는데, 제우스 로봇은 무게

가 가벼운 만큼 부피도 작아 효율성이 높다”며 “전력도 덜 사용하기 때문에 전기료도 절감할 수 있는 이점이 있다”고 강

조했다

제우스는 반도체에 이어 디스플레이 로봇시장도 공략할 계획이다.

이 대표는 “디스플레이 유리 기판은 반도체 웨이퍼보다 무거워 로봇을 적용하기 쉽지 않지만 패널 모듈단에서는 충분

히 쓰일 수 있다고 본다”고 말했다

제우스는 작년 9월 290억원 규모의 디스플레이 제조공정용 반송로봇을 처음으로 수주에 성공했다

제우스가 수주에 성공한 로봇은 디스플레이 공정에서 패널 이동을 위한 필수 로봇이다. 제우스는 1996년부터 국내외

디스플레이 제조 회사들에 8천여 대의 로봇을 납품한 이력을 바탕으로 공정 최적화 및 유지보수 능력을 인정받으며 포

트폴리오를 늘려가고 있다

제우스 관계자는 “대형 OLED 수요 대응을 위한 대대적인 설비 투자가 시작됨에 따라 디스플레이 공정 장비에 필수적

인 반송 로봇의 수주를 성공했다”며 “하반기 반도체, 디스플레이 장비에 대한 대형 수주도 기대하고 있어 향후 전망이

밝다”고 밝혔다

고객사 납품이 시작된 반도체 공정용 로봇 공급이 확대될 경우 주력 제품인 반도체 세정 장비 매출 의존도도 낮출 수

있을 전망이다. 지난해 기준 회사 매출에서 반도체 세정 장비 매출이 차지하는 비중은 75% 수준이다

증권업계에서는 제우스가 올해 포트폴리오 다변화를 통해 최대 실적을 경신할 수 있을 것으로 예상하고 있다. 금융정

보업체 에프앤가이드가 제시한 제우스 올해 매출과 영업이익 전망치는 각각 5652억원과 601억원이다. 역대 최대 실

적인 2022년(매출 5090억원·영업이익 463억원)을 뛰어넘는 수치다.

이 대표는 “지난해 실적은 반도체 업황 부진 영향을 받았다”며 “로봇 사업 확장으로 올해 실적 개선을 이뤄내겠다”고 말했다

□자회사 제이이티, 지난해 9월 일본 도쿄증권거래소 상장완료, 반도체 호황에 힘입어 주가 연일 대상승중

반도체 생산장비 업체 제이이티는 미국발 금융위기 가운데 파산한 일본 반도체 세정장비 기업 S.E.S가 전신이다. 200

9년 제우스가 지분을 전량 인수해 종속회사로 편입시켰다. 디스플레이 공정 장비 업체였던 제우스는 제이이티를 인수

하며 주력 사업 무게추가 반도체로 이동했다. 현재 제우스는 제이이티의 지분 95.12%를 보유하고 있다

제이이티는 세정액으로 반도체 웨이퍼의 불순물을 제거하는 습식(Wet) 세정장비 중 배치(Batch)형을 주로 생산한다.

모회사인 제우스가 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 싱글형 장비를 생산한다면 제이이티는 한 번에 20~50장의 웨이퍼를

처리하는 배치형 장비를 생산한다

인수 초 제이이티의 실적은 제우스의 연결 성적에서 차지하는 비중이 작았으나 높은 성장세를 보이며 그룹 내 입지가

커졌다. 제이이티는 연매출 2500억원 이상의 고성장을 지속하며 제우스의 매출 50%를 책임 실적을 견인하고 있다.

도쿄증권거래소에서 거래되고 있는 제이이티의 주가는 상장시 1만원대에서 현재 4만대까지 대상승세를 기록중이다.

<일본 도쿄증권거래소에 상장된 J.E.T의 최근 주가 추이와 주봉차트 현황>