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"반도체 습도제어" 저스템, 과기부 'K-HERO' 과제 선정

파이낸셜뉴스 2025.10.14 09:13 댓글 0

저스템 본사 전경. 저스템 제공

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비기업 저스템이 과학기술정보통신부와 한국산업기술진흥협회가 주관하는 'K-HERO 육성·지원사업' 중 가장 큰 규모로 지원되는 '글로벌 선도연구소 육성' 사업 부문에 선정됐다고 14일 밝혔다.

저스템은 이번 지원사업에서 '고집적 반도체 웨이퍼 수율 향상을 위한 'EFEM(Equipment Front End Module)' 고도화 기술개발'을 주제로 과제를 수행한다. 'K-HERO(Korea -Highest Excellence R&D Organization)' 육성 지원사업은 국가전략기술 분야에서 우수 연구·개발(R&D) 역량을 보유한 기업연구소를 발굴해 중점 지원하는 국책사업이다. 이 중 글로벌 선도연구소 육성사업은 세계 최고 및 최초 기술력 확보가 목표인 기업연구소를 지원하는 프로그램이다.

저스템은 이번 과제 수행으로 총 31억5000만원을 지원 받는다. 저스템이 수행할 과제는 반도체 웨이퍼 수율 향상을 위해 장비에 들어가는 장치인 EFEM을 고도화 하는 기술 개발이다.

최근 반도체 회로선폭이 극도로 미세화하면서 습도제어를 통한 수율 향상이 이슈가 된다. 특히 인공지능(AI) 반도체에 필수로 들어가는 '고대역폭메모리(HBM)' 수요 증가에 따라 HBM 제조에 있어 습도제어가 더욱 중요해지는 상황이다.

저스템은 반도체 수율을 떨어뜨리는 습도 문제를 해결하는 습도제어 솔루션에 주력한다. 1세대 습도제어 솔루션인 'N2 LPM(Load Port Module)'은 이미 전 세계 시장 점유율 1위에 올랐다. 이어 출시한 2세대 제품 'JFS(Justem Flow Straightener)' 역시 HBM 라인을 포함한 국내외 유수 반도체 기업들에 활발히 공급 중이다.

저스템은 이러한 선행 기술 확보와 글로벌 시장에서의 성공 이력을 바탕으로 이번 평가에서도 △기술개발계획 △상용화계획 △파급효과 등 여러 지표에서 높은 평가를 받아 과제 주관사로 선정됐다. 이번 과제를 통해 공동연구개발기관인 명지대, 특허법인 명신과 협력해 오는 2028년까지 반도체 공정 습도제어 관련 시제품 4종을 개발할 예정이다.

박태서 저스템 연구소 부사장은 "자사 기술 역량을 국가에서 인정해 준 것"이라며 "이번 과제 수행을 통해 반도체 장비산업의 국가 기술력과 경쟁력을 한 단계 끌어올릴 것"이라고 말했다.

한편 저스템은 매년 매출액 중 10% 이상을 R&D에 투자하고, 전체 직원 중 30%가량이 R&D에 종사한다. 보유한 특허는 340여건에 달한다. 지난 2023년에는 과기부로부터 '최우수 기업부설연구소'로 지정되는 한편, 이듬해에는 '장영실상'을 수상했다.

butter@fnnews.com 강경래 기자

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