■원익IPS, 전공정 핵심 '메탈 CVD 장비' 국산화

★원익IPS 2021년 본격 상승요인

1)신규메탈CVD장비 "노아"

128단(최고난도사양) 낸드플래시 비메모리 반도체 생산 핵심장비

일본 TEL사의 독점장비를 원익IPS가 어려운 연구끝에 국산화성공

2020년 4분기에 SK하이닉스에 납품성공

2)전세계 시스템반도체 부족사태

미국을 비롯한 전세계 비메모리 반도체 물량부족사태로 파운드리 반도체

생산업체들 생산라인 증설이 크게 증가--따라서 동사의 장비공급 증가세 확대

특히 전기차,스마트폰,5G,자율주행등의 수요급증에 따른 시스템반도체

수요폭발예상

3)원익IPS 주요 고객사 변화가 일고있다

원익IPS 거래처의 매출구조가 점점 글로벌 대기업향으로 물량공급비중이 많아

지고 있어 매출증가는 물론 안정적인 경영에 큰 긍적적인 역활로 작용

4)반도체와 디스플레이 장비 시장의 전방위적인 성장

더말할 필요도 없이 현재 반도체와 디스플레이 시장이 크게 살아나고 있어 이에

대한 장비시장은 몇년간 더불어 큰 증가세를 기록할것으로 예상된다.

5)동사의 고부가가치 제품군의 매출신장

매출신장이 눈부신 것도 있겠지만 더 중요한것은 영업이익율 입니다

동사는 2019년에 약 7%의 영업이익율을 기록한 반면에 2020년에는 20%대의

엄청난 영업이익율을 기록하였습니다

이는 제품들이 점점 부가가치가 높아지며 이익창출에 기여하고 있다는 증거입니다.

앞으로 매출이 높아지면서 따라서 영업이익율이 큰성장세를 기록할 것으로 보입니다.

★따라서 앞으로 원익IPS의 주가에도 큰 변화가 올것으로 예상됩니다

■원익IPS, 전공정 핵심 '메탈 CVD 장비' 국산화
첫 양산 '노아' SK하이닉스 M15에 납품
삼성 화성·평택 공장도 도입 검토 나서
배리어·ALD 등 활용 가능성 높아
시장 과점 도쿄일렉트론에 도전장

반도체 장비업체인 원익IPS가 전공정 핵심 장비를 국산화했다. 일본의 도쿄일렉트론(TEL)이 과점하고 있던 '금속(메탈) CVD' 장비를 자력으로 개발했다. 향후 이 장비 발전 가능성이 상당히 커질 것으로 보여 업계 관심이 쏠리고 있다.
원익IPS가 최근 국산화한 메탈 CVD 장비 노아. 

       
28일 업계에 따르면 원익IPS는 신규 메탈 CVD 장비 '노아(NOA)'를 첫 양산해 SK하이닉스 청주 공장 M15에 납품했다. M15는 128단 낸드플래시 등을 생산하는 SK하이닉스의 핵심 낸드 생산 기지다.
원익IPS가 국산화한 메탈 CVD 장비는 반도체 8대 공정 중 하나인 금속배선 공정에서 쓰인다. 금속배선 공정은 반도체 회로에 전기 신호가 잘 전달되도록 금속선을 연결하는 전(前)공정이다.

금속선은 전기저항이 낮고 부착성이 좋은 구리(Cu), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 등으로 만든다. 문제는 이 물질로 만든 금속선의 입자가 소자 내에서 중요한 역할을 하는 '절연막'이라는 곳에 침투하는 성질을 띤 것이다. 마땅한 대책 없이는 절연막의 기능이 크게 저하돼 품질이 떨어질 수 있다.

이를 방지하기 위해 금속선과 절연막 사이 얇은 방지막을 씌워 두 물질의 혼합을 막는다. 이를 메탈 배리어라 부르고, 타이타늄(Ti)이나 타이타늄나이트라이드(TiN)으로 만든다.

원익IPS가 이번에 처음 양산해 공급한 메탈 CVD 장비는 이 메탈 배리어를 만들 때 활용하는 장비인 것으로 파악된다. 노아 장비는 배리어 공정뿐만 아니라 텅스텐 금속 배선 작업, 차세대 증착 기술인 원자층증착기법(ALD)도 적용 가능하다. 앞으로 이 장비의 활용 가능성은 무궁무진할 것으로 보인다.
원익IPS의 이번 양산은 국내 장비업계에서 여태 상용화하지 못했던 메탈 CVD 장비를 국산화했다는 점에서 큰 의미가 있다.

그동안 메탈 CVD 장비 분야는 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 뛰어난 기술을 바탕으로 주도하고 있었다. 지난해 일본 수출규제 문제가 불거질 당시, SK하이닉스 내에서 국산 대체재가 필요할 것으로 우려되는 품목에 메탈 CVD 장비를 포함시켰을 만큼 점유율이 상당한 것으로 전해진다.

원익IPS는 3년여간 연구 개발 끝에 SK하이닉스의 최첨단 낸드 공장에 이 제품을 납품할 수 있게 됐다. 기존에도 '아크라'라는 메탈 CVD 장비를 보유하고 있었지만 반도체 대기업의 주력 공정에 적용될 만한 기술 수준을 확보하지 못했다.

그러나 이번 장비는 박막의 균일한 두께(스텝 커버리지), 수율, 웨이퍼 생산성 등이 TEL 장비 성능과 견줄 수 있을 수준에 도달했다는 게 업계 평가다. 또 삼성전자 화성·평택 사업장 양산 라인에서도 이 장비를 도입하기 위한 다양한 테스트가 진행되고 있는 것으로 파악된다.

한 장비업계 관계자는 “글로벌 업체들이 그물망처럼 만들어놓은 특허 기술 없이도 독자 장비를 개발한 점이 의미가 있다”고 평가했다.

원익IPS 몰딩 장비 퀀타 .

한편 원익IPS는 낸드플래시 증착 장비 분야에서 연이어 국산화 사례 성과를 내고 있어 주목된다.

최근 원익IPS는 낸드플래시 공정에서 옥사이드와 나이트라이드 물질을 번갈아 증착하는 몰딩 공정 장비를 국산화해 삼성전자 해외 낸드기지 시안공장 등에 납품했다. 이 장비 역시 100단 이상 초고층 낸드플래시 공정에 활용되고 있다.