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미코

미코 , 일본독점 반도체 식각장치 국내유일 세라믹히터 개발 삼성에 공급

미코 , 일본독점 반도체 식각장치 국내유일  세라믹히터 개발 삼성에 공급
*** 미코 (059090)
정부, 반도체 소재·부품·장비 개발에 매년 1조 투자...수혜 기업
( 아래 기사안에 " 미코 ' 있음)


반도체 증착 공정 확대... 장비용 세라믹 부품사 미코 '훨훨'
주력인 반도체 장비용 세라믹 히터는 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD) 내에 탑재돼 챔버 내 온도를 조절하는 부품이다. 이 제품은 일본의 한 회사가 시장을 거의 독점하다시피 하고 있다

반도체 부품 관련 기업으로는▲히터, ESC 및 세라믹 부품,  미코

http://www.etnews.com/20180605000254


http://www.newsis.com/view/?id=NISX20190703_0000699611&cID=13001&pID=13000


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