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에스티아이

AI반도체 필수 HBM 장비 국산화

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에스티아이-넥스틴, 고대역메모리(HBM) 엣지 트리밍·검사 복합 장비 국산화

http://www.digitaltoday.co.kr/news/articleView.html?idxno=104051




고대역메모리(HBM) 공정의 걸림돌로 여겨지던 기술을 국내 중소기업이 협업해 풀었다. 웨이퍼의 둥근 모서리를 수직 방향으로 절삭(Trimming)할 때 틈이 생기지 않게 깔끔하게 처리해준 다음 검사까지, 한 시스템에서 해결한다.






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