이솔(E-SOL)의 이동기 부사장 이력
이동근 부사장이 콘퍼런스에서 자기소개를 할 때 '카이스트 - 삼성전자'를 거쳐
이솔로 왔으며 10년 넘게 EUV를 개발했다고 말했다.
삼성전자도 내부적으로 EUV 관련 특허를 지속적으로 취득하였으며
그때마다 이동근 부사장의 이름이 함께 실려있었다.
삼성전자에서 'EUV 마스크 제조 방법', 'EUV 마스크 검사 방법', 'EUV 레이저 어닐링 시스템' 등에 대한 연구를 했고
그에 따른 특허에는 이동근 부사장 이름이 붙어 다녔다.
현재 이솔이 만드는 제품이 'EUV 마스크 제조 장비', 'EUV 마스크 검사 장비', 'EUV 레이저 어닐링 시스템'이다.
즉, 삼성전자 인하우스에서 개발하던 EUV 장비를 이동근 부사장이 이솔에 와서 개발 중이라는 말.
삼성전자와 에프에스티의 관계, 삼성전자와 이솔과의 관계의 돈독함을 어느 정도 유추해볼 수 있다.
현재 개발하고 있는 'EUV 마스크 검사장비'는 2019년 10월 출시 예정이다.
2020~2022년까지 추가적으로 EUV 관련 장비 런칭이 대기하고 있다.
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