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▨▨▨日경제보복, 핵심은 EUV▨▨▨
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日경제보복, 핵심은 EUV…삼성 차세대 반도체 공정 노림수 (1보)
에프에스티, 국내 유일 EUV 노광장비 펠리클 제조업체
*** 에프에스티 (036810)
에프에스티, 삼성 초격차 전략 EUV 7나노…국내 유일 펠리클 수혜
. 파운드리에서도 첨단 EUV(극자외선) 인프라를 구축해 파운드리 사업이 차세대 성장동력으로 삼을 계획이다. EUV 노광(露光)장비를 적용한 7나노 이하 공정 개발에 집중한다.
삼성전자는 EUV 노광을 위한 마스크 검사, 그리고 마스크 보호를 위한 펠리클(Pellicle) 핵심설계를 마무리한 것으로 알려졌다. 내년 초도 생산에 들어가는 7나노 시스템반도체 파운드리에 적용할 것으로 보인다. 시설투자를 대폭 늘려 반도체와 디스플레이 부문에서 2위와의 ‘초격차’를 유지하겠다는 삼성 특유의 경영전략으로 풀이된다.
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