SK머티리얼즈

단독, 불화수소 국산화 착수!!!!

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SK, 고순도 불화수소 국산화 착수…'脫일본' 소재 본격화

http://www.etnews.com/20190725000420

25일 업계에 따르면 SK그룹 계열 SK머티리얼즈가 올해 안 샘플 공급을 목표로 불화수소 생산 준비에 나선 것으로 확인됐다.

SK머티리얼즈 관계자는 “현재 관련 생산 설비를 개발하고 있다”면서 “올해 말 샘플 공급이 목표”라고 밝혔다.

SK머티리얼즈가 준비하고 있는 불화수소는 '에칭가스'다. 반도체 회로를 깎는 식각 공정과 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 세정 공정용이다. 반도체 제조에는 액상 형태의 불화수소와 기체 두 가지가 혼용돼서 쓰인다. 액상 제품이 '식각액'(에천트)이고, 기체는 '에칭가스'다.

SK머티리얼즈는 자체 기술을 바탕으로 기체 형태의 불화수소, 즉 에칭가스를 만들어 반도체업계에 공급한다는 계획이다. 샘플이 나오는 시점이 올해 말께임을 감안하면 본격적인 양산 및 공급은 내년 상반기 중으로 예상된다.

SK머티리얼즈는 다소 생소한 기업이지만 1982년부터 반도체 소재를 전문적으로 만들어 왔다. 반도체, 디스플레이, 태양전지 등에 사용되는 삼불화질소(NF3)를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했다. 또 육불화텅스텐(WF6)과 같은 증착 가스, 석유화학·철강 등에 적용되는 산업가스를 공급하고 있다.

대백물산으로 출발해 2008년 OCI에 편입됐고, 2015년에는 SK가 OCI머티리얼즈를 인수하면서 SK그룹 계열사가 됐다. SK머티리얼즈가 불화수소 제조에 나서는 건 처음이다.

회사 측은 “그동안 원료가 되는 불소(F)를 다뤘고 정밀 가스 기술력과 노하우가 축적돼 고순도 불화수소를 제조할 수 있는 기반을 갖춘 것으로 판단했다”고 전했다.